特种工业气体的分类方法很多种，例如按照气体自身化学成分可分为：硅系、砷系、磷系、硼系、金属氢化物、卤化物和金属烃化物七类。按照在集成电路中的效果可分为掺杂气体、外延气体、离子注入气体、发光二极管用气体、刻蚀气体、化学气相堆积（CVD）用气体、载运稀释气体七类。一起，以上分类存在交叉，例如四氯化硅（SiCl4）既属于硅系气体，又属于外延气体，一起在化学气相堆积(CVD)中也存在运用。

特种工业气体的首要出产工序包括气体组成、气体纯化、气体混配、气瓶处理、气体充装、气体剖析检测。气体组成是将原料在特定压力、温度、催化剂等条件下，通过化学反应得到气体粗产品。气体纯化是通过精馏、吸附等方法将粗产品精制成更高纯度的产品。

特种工业气体商场规模快速增长。工业气体能够分为两大类，一般工业气体和特种工业气体。一般工业气体是指通过空气别离设备制作的普通级的氧气和氮气、通过焦炉气别离或许电解方法制作出来的普通纯度的其他种类气体。一般工业气体出产量大，对气体纯度要求不高。特种气体有别于一般气体，它在纯度、种类、性能等方面严格按照一定标准出产和运用。特种气体广泛运用于集成电路、显现面板、光伏能源、光纤光缆、新能源轿车、航空航天、环保、医疗等范畴。2017年，全球特种气体商场规模241亿美元，其间电子范畴的特种气体商场规模超越100亿美元。根据卓创资讯的统计，2010-2017年我国特种气体商场平均增速15.5%，2017年我国的特种气体商场规模约178亿元，其间集成电路、显现面板、光伏能源、光纤光缆等半导体范畴的特种气体商场规模约100亿元。根据卓创资讯的预计，2018-2022年我国特种气体商场规模仍将以平均超越15%的年增长率高速增长，到2022年我国特种气体商场规模将到达411亿元。